微量水分析儀利用電解水(shui)(shui)分(fen)子為(wei)(wei)氫氣(qi)與氧氣(qi)的(de)(de)(de)原(yuan)理(li)。傳感器(qi)由(you)一(yi)個玻璃材質(zhi)的(de)(de)(de)圓(yuan)柱和兩根(gen)并(bing)行的(de)(de)(de)電極(ji)組成(cheng)。電極(ji)材質(zhi)通(tong)常(chang)由(you)鉑(bo)或銠(lao)金屬絲制(zhi)成(cheng)，并(bing)在(zai)兩根(gen)電極(ji)之間涂有很薄的(de)(de)(de)一(yi)層磷(lin)酸H3PO4。當兩電極(ji)之間出(chu)現電解電流時，酸中(zhong)的(de)(de)(de)水(shui)(shui)分(fen)會被分(fen)解為(wei)(wei)氫氣(qi)和氧氣(qi)。這一(yi)過(guo)程的(de)(de)(de)最終產物是五氧化二磷(lin)，這是一(yi)種高吸濕性物質(zhi)，因此會從樣氣(qi)中(zhong)吸收水(shui)(shui)分(fen)。通(tong)過(guo)連續的(de)(de)(de)電解過(guo)程，樣氣(qi)的(de)(de)(de)水(shui)(shui)分(fen)含(han)量與電解后的(de)(de)(de)水(shui)(shui)分(fen)是平衡的(de)(de)(de)。電極(ji)電流與樣氣(qi)中(zhong)水(shui)(shui)分(fen)含(han)量成(cheng)比例，信號經(jing)過(guo)儀器(qi)內部信號放大器(qi)處理(li)后顯(xian)示并(bing)讀出(chu)數據(ju)。
這種(zhong)(zhong)原理可以(yi)用來測量(liang)各(ge)種(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)(ti)，包括Cl2、HCl、H2S、H2SO4、HBr、SO2、SF6、CO2等(deng)氣(qi)體(ti)(ti)和全(quan)部惰(duo)性氣(qi)體(ti)(ti)，極少數會同(tong)磷酸(suan)發(fa)生化(hua)學反應的(de)氣(qi)體(ti)(ti)除外。探(tan)頭(tou)(tou)(tou)適用于(yu)測量(liang)各(ge)種(zhong)(zhong)惰(duo)性氣(qi)體(ti)(ti)、碳(tan)氫化(hua)合物(wu)或(huo)(huo)根據(ju)所選(xuan)擇的(de)探(tan)頭(tou)(tou)(tou)材(cai)質(zhi)應用于(yu)HCl、Cl2或(huo)(huo)SO2等(deng)腐蝕性氣(qi)體(ti)(ti)中(zhong)。探(tan)頭(tou)(tou)(tou)與樣(yang)氣(qi)接觸的(de)材(cai)料(liao)可以(yi)是(shi)玻璃、鉑或(huo)(huo)銠(lao)，其他材(cai)質(zhi)也可以(yi)提供。樣(yang)氣(qi)以(yi)特別的(de)傳遞方(fang)式(shi)流經探(tan)頭(tou)(tou)(tou)，再結合一個高質(zhi)量(liang)的(de)界面，從(cong)而(er)確保探(tan)頭(tou)(tou)(tou)響應迅速和受(shou)干擾(rao)影響最小，這些設(she)計對于(yu)很低的(de)ppm級測量(liang)十分重要。
